Laporan Kejuruteraan Ceramics Inc. (EC © ™):
EcFeedthrough vakum- Ringkasan Teknikal
EC mengkhususkan diri dalam makanan vakum prestasi tinggi seperti:
✔ Penebat seramik untuk penebat voltan ultra tinggi (Al₂o₃/Aln)
✔ Teknologi Brazing Vacuum (kadar kebocoran <10 ⁻⁹ mbar · l/s)
✔ Pengedap kedap udara untuk pam molekul turbo/pam ion (UHV/XHV serasi)
✔ Konfigurasi tersuai untuk aplikasi semikonduktor, aeroangkasa dan penyelidikan
Jadual 1: Klasifikasi berdasarkan prinsip operasi
|
jenis |
Teori operasi |
Vakum akhir (PA) |
Ciri -ciri utama |
Penggunaan utama |
|
Rotary Vane Pump |
Peralihan dengan van berputar |
1E-1 ~ 1E2 |
Jenis meterai minyak, penyelenggaraan diperlukan |
Foreline/Back Pump |
|
Pam tatal kering |
Mampatan gas oleh spiral orbital |
1E-2 ~ 1E1 |
Bebas minyak, getaran rendah |
Peralatan makmal |
|
Akar Blower |
Pengangkutan gas menggunakan lobus berputar kaunter |
1E-1 ~ 1E3 |
Throughput yang tinggi, selalunya pelbagai peringkat |
Sistem vakum industri |
|
Pam penyebaran minyak |
Pindahkan melalui momentum jet stim |
1E-7 ~ 1E-4 |
Tidak ada bahagian yang bergerak, perangkap sejuk diperlukan |
Pemendapan e-beam |
|
Pam molekul turbo |
Pemutar berkelajuan tinggi (> 60k rpm) bertembung dengan molekul |
1E-9 ~ 1E-6 |
Kebersihan, sensitif getaran |
Mesin Sains UHV |
|
Pam kriogenik |
Pemeluwapan gas di permukaan <20k |
<1E-10 |
Vakum maksimum dan regenerasi biasa diperlukan |
Simulasi persekitaran ruang |
Jadual 2: Klasifikasi mengikut tahap vakum
|
Julat vakum |
Tekanan (PA) |
Jenis pam optimum |
Pertimbangan Teknikal |
|
Vakum kasar |
1E5 ~ 1E2 |
Rotary Vane, diafragma |
Sokongan tekanan tinggi dengan balast gas |
|
Vakum rendah |
1E2 ~ 1E-1 |
Akar + Vane Rotary |
Kelajuan vs kecekapan kuasa |
|
Vakum tinggi |
1E-1 ~ 1E-7 |
Penyebaran, |
Pencegahan Backstream |
|
Vakum ultra tinggi (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Ion, cryopump |
Pemilihan bahan adalah penting |
|
Vakum yang sangat tinggi |
<1E-10 |
Hibrid ion-kryosystem |
Persekitaran tahap kuantum |
Kriteria pemilihan utama
1. Tahap vakum akhir
Tahap vakum yang diperlukan mesti memenuhi spesifikasi proses. Contohnya:
- Dalam pembuatan semikonduktor, tahap vakum di bawah 10 ⁻⁶ PA biasanya diperlukan.
- Dalam proses perindustrian, ia dapat berfungsi dengan berkesan dalam lingkungan 10 ¹ hingga 10² PA
2. Kelajuan mengepam
Diukur dalam liter sesaat (l/s) atau meter padu per jam (m³/h)
Pilih saiz yang sesuai untuk kapasiti ruang dan beban gas anda
Aplikasi tinggi (contohnya relau vakum) mungkin memerlukan 1,000+ m³/j
3. Keserasian gas dan kimia
- Penggunaan Standard: Bahan Standard (keluli tahan karat, aluminium)
- Persekitaran yang menghakis: Bahan khas diperlukan, sebagai contoh:
- Bahagian salutan PTFE (untuk tahan asid)
- aloi hastelloy atau nikel (untuk bahan kimia yang kuat seperti klorin)
4. Kecekapan dan penyelenggaraan tenaga
- Pam meterai minyak:
- Kos permulaan yang rendah
- Perubahan minyak biasa diperlukan (setiap 2,000 hingga 4,000 jam)
- Risiko pencemaran minyak melalui proses sensitif
- Pam kering (bebas minyak):
- Pelaburan awal yang tinggi
- tidak diperlukan penyelenggaraan (tiada perubahan minyak)
- Disyorkan untuk proses yang bersih (mis. Ubat, makanan)
Istilah utama yang diliputi dalam teks ini adalah seperti berikut:
1. Meterai vakum - meterai vakum, teknologi pengedap vakum jari, dan makanan vakum adalah berkesan (sambungan pengedap).
2. Melalui bahagian (かんつうぶ)-melalui bahagian melalui, umumnya merujuk kepada bahagian-bahagian yang melewati dinding atau partisi, dan kadang-kadang digunakan untuk menggambarkan struktur yang serupa dengan vakum.
3. Furanzi - Flange, yang biasa digunakan dalam komponen sambungan sistem vakum, perkakasan yang berkaitan dengan vakum mungkin melibatkan istilah ini.
4. Penyambung Vakum - Penyambung Vakum, Penyambung Vakum Under, dan keupayaan untuk mengakses Feedthrough.
5. Penembusan penebat - Keupayaan untuk melaksanakan semasa feedthrough vakum.
Kata -kata ini tidak sepenuhnya bersamaan dengan "makanan vakum," tetapi boleh digunakan sebagai penghampiran atau istilah yang berkaitan dalam keadaan tertentu. Bahasa yang digunakan bergantung kepada butiran teknikal dan norma industri, jadi disyorkan agar anda merujuk kepada kesusasteraan pakar yang relevan atau berunding dengan pakar untuk memastikan ketepatan.
Kenyataan: Artikel/berita/video adalah dari Internet atau, dibuat oleh perisian AI. Cetakan laman web kami untuk tujuan perkongsian. Hak cipta artikel/berita/video dicetak semula milik pengarang asal atau akaun rasmi asal. Sekiranya terdapat sebarang pelanggaran yang terlibat, sila maklumkan kepada kami pada waktunya, dan kami akan mengesahkan dan memadamkannya.
