Berita Industri Seramik Dunia

Serbuk Cerium Oksida untuk Aplikasi CMP

2024-10-14

Engineering Ceramic Co.,( EC © ™) Laporan:


Diumumkan oleh Suruhanjaya Pembangunan dan Pembaharuan Negara (NDRC), pada sidang akhbar Isnin,  China telah memperuntukkan 200 bilion yuan ($28 bilion) untuk projek pelaburan oleh kerajaan tempatan tahun ini, kerana ia berjanji untuk memenuhi sasaran pertumbuhan ekonominya yang bercita-cita tinggi.



Projek tersebut termasuk industri semikonduktor sebagai penggilap mekanikal kimia (CMP). Dalam proses pembuatan semikonduktor, permukaan cip perlu sangat rata untuk memastikan operasi normal litar. Penggilapan mekanikal kimia adalah proses utama untuk mencapai matlamat ini.Cerium oksidamenjadi pelelas penting dalam buburan CMP kerana sifat fizikal dan kimianya yang unik. Penyerakan nano cerium oksida mempunyai pengoksidaan yang kuat kepada wafer silikon dan boleh membentuk lapisan oksida yang sangat nipis pada permukaan wafer silikon. Ini bukan sahaja kondusif untuk meningkatkan kecekapan penggilapan, tetapi juga membolehkan wafer silikon memperoleh kekasaran permukaan yang sangat rendah dan menjadikan permukaan produk cerah dan mencapai kesan cermin.  



Berbanding dengan bahan pelelas lain yang biasa digunakan, Engineering Ceramic Co.,( EC © ™)  menghasilkan serbuk serium oksida sepcial yang mempunyai kesan penggilapan yang lebih cemerlang. Ia boleh mengeluarkan zarah-zarah kecil, kekotoran dan bahagian yang tidak rata pada permukaan wafer silikon dengan cekap, meningkatkan kerataan dan ketulenan wafer silikon, dan menjana kurang haba dan sisa kimia semasa proses penggilap, dan mempunyai lebih sedikit kerosakan pada bahan semikonduktor.

 

 


Formula kimia: CeO2

Jisim molar: 172.115 g/mol

Rupa: pepejal putih atau kuning pucat, sedikit higroskopik

Ketumpatan: 7.215 g/cm3

Takat lebur: 2,400 °C (4,350 °F; 2,670 K)

Takat didih: 3,500 °C (6,330 °F; 3,770 K)

Kelarutan dalam air: tidak larut

Kecenderungan magnetik (χ): +26.0·10−6 cm3/mol

Struktur kristal: padu (fluorit)



Kenyataan: Artikel/berita/video adalah daripada Internet. Laman web kami mencetak semula untuk tujuan perkongsian. Hak cipta artikel/berita/video yang dicetak semula adalah milik pengarang asal atau akaun rasmi asal. Jika terdapat sebarang pelanggaran yang terlibat, sila maklumkan kepada kami tepat pada masanya, dan kami akan mengesahkan dan memadamkannya.


+86-15993701193hj@engineeringceramic.com
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept